Lọc ULPA (Ultra Low Penetration Air Filter) là cấp lọc không khí hiệu suất cao hơn HEPA, được sử dụng trong các hệ thống phòng sạch yêu cầu mức độ sạch cực cao. ULPA thường được lắp ở vị trí lọc cuối, nơi chất lượng không khí ảnh hưởng trực tiếp đến sản phẩm và quy trình quan trọng.

1. Định nghĩa kỹ thuật lọc ULPA

Lọc ULPA là bộ lọc không khí có khả năng loại bỏ ≥ 99,9995% các hạt bụi tại kích thước 0,12 µm, theo các tiêu chuẩn quốc tế (EN 1822 / IEST).

So với HEPA (0,3 µm), ULPA được thiết kế để kiểm soát các hạt siêu mịn và vi hạt – những yếu tố gây ảnh hưởng nghiêm trọng trong sản xuất công nghệ cao.

2. Nguyên lý lọc của ULPA

Lọc ULPA hoạt động dựa trên các cơ chế vật lý tương tự HEPA, nhưng với mật độ sợi lọc và cấu trúc chặt chẽ hơn:

🔹 Va chạm quán tính (Inertial Impaction)

Giữ lại các hạt lớn theo quán tính.

🔹 Chặn trực tiếp (Interception)

Các hạt trung bình bị giữ lại khi tiếp xúc với sợi lọc.

🔹 Khuếch tán (Diffusion)

Cơ chế chủ đạo đối với các hạt cực nhỏ (<0,1 µm), giúp ULPA đạt hiệu suất vượt trội.

👉 ULPA được tối ưu để lọc hiệu quả tại vùng MPPS nhỏ hơn so với HEPA.

3. Phân cấp hiệu suất lọc ULPA (theo EN 1822)

Cấp lọc Hiệu suất tại MPPS
U15 ≥ 99,9995%
U16 ≥ 99,99995%
U17 ≥ 99,999995%

👉 ULPA thường được sử dụng trong các phòng sạch yêu cầu cực kỳ nghiêm ngặt, nơi HEPA H14 vẫn chưa đáp ứng đủ.

4. Cấu tạo kỹ thuật lọc ULPA

🔹 Vật liệu lọc

  • Sợi thủy tinh siêu mịn (Micro Glass Fiber)

  • Mật độ sợi cao hơn HEPA

  • Cấu trúc đồng đều, giảm tối đa rò rỉ

🔹 Kết cấu

  • Thiết kế gấp nếp với khoảng cách được kiểm soát chặt chẽ

  • Diện tích bề mặt lọc lớn để giảm vận tốc khí

🔹 Khung lọc

  • Nhôm / thép mạ / inox

  • Chịu được áp suất cao, không biến dạng

🔹 Gioăng kín khí

  • Silicon / PU chất lượng cao

  • Đảm bảo độ kín tuyệt đối ở vị trí lắp đặt

5. Các thông số kỹ thuật quan trọng

  • Cấp lọc: U15 / U16 / U17

  • Hiệu suất lọc tại MPPS (~0,12 µm)

  • Lưu lượng khí danh định (m³/h)

  • Tổn thất áp suất ban đầu

  • Áp suất làm việc tối đa

  • Độ rò rỉ cho phép

  • Nhiệt độ, độ ẩm làm việc

6. Vị trí lắp đặt ULPA trong hệ thống

  • Terminal ULPA (lọc cuối tại trần phòng sạch)

  • ULPA cho FFU

  • ULPA box / housing chuyên dụng

👉 ULPA luôn được lắp ở cấp cuối, sau các cấp lọc:

  • Pre-filter (G4)

  • Medium filter (F7–F9)

  • HEPA (trong một số hệ thống nhiều cấp)

7. Kiểm tra và đánh giá ULPA

  • Leak Test (PAO/DOP Test) bắt buộc

  • Đo tổn thất áp suất

  • Kiểm tra độ đồng đều lưu lượng khí

  • Đánh giá cấp độ sạch phòng (ISO 1 – ISO 3)

8. Tuổi thọ và bảo trì

Do cấu trúc rất chặt:

  • ULPA có tổn thất áp suất cao hơn HEPA

  • Tuổi thọ phụ thuộc lớn vào chất lượng lọc trước

  • Không vệ sinh, chỉ thay thế khi đạt giới hạn áp suất

9. Ứng dụng kỹ thuật của lọc ULPA

  • Sản xuất bán dẫn, wafer

  • Phòng sạch công nghệ nano

  • Phòng nghiên cứu sinh học cấp cao

  • Thiết bị y sinh chính xác

  • Môi trường yêu cầu ISO Class 1 – 3

10. Giải pháp lọc ULPA của COFIT Việt Nam

  • Cung cấp lọc ULPA U15 – U17

  • Tư vấn thiết kế hệ thống lọc đa cấp

  • Gia công theo kích thước và lưu lượng yêu cầu

  • Hỗ trợ test rò rỉ và thay thế định kỳ

📌 COFIT Việt Nam – Giải pháp lọc ULPA cho phòng sạch siêu sạch và công nghệ cao.